手持x射線(xiàn)熒光光譜儀是一種原子發(fā)射方法，在這方面與光發(fā)射光譜，ICP和中子活化分析（γ光譜）相似。X射線(xiàn)管通過(guò)產(chǎn)生入射X射線(xiàn)（一次X射線(xiàn)），來(lái)激發(fā)被測樣品。 受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì )放射出二次X射線(xiàn)（又叫X熒光），并且不同的元素所放射出的二次X射線(xiàn)具有特定的能量特性或波長(cháng)特性。探測系統測量這些放射出來(lái)的二次X射線(xiàn)的能量及數量或者波長(cháng)。在x射線(xiàn)熒光光譜儀中，來(lái)自X射線(xiàn)管的主要X射線(xiàn)束照射會(huì )導致發(fā)出熒光X射線(xiàn)，而熒光X射線(xiàn)具有樣品中存在的元素的離散能量特征。

　　XRF分析是一種可靠的技術(shù)，將高精度和高準確度與簡(jiǎn)單，快速的樣品制備結合在一起。它可以很容易地實(shí)現自動(dòng)化，以用于高通量工業(yè)環(huán)境，此外，x射線(xiàn)熒光光譜儀還可以提供有關(guān)樣品的定性和定量信息。x射線(xiàn)熒光光譜儀還可以使快速篩選分析。

　　手持x射線(xiàn)熒光光譜儀檢測的基本過(guò)程：

　　x射線(xiàn)熒光光譜儀可以在原子級發(fā)生的簡(jiǎn)單三步過(guò)程中考慮：

　　傳入的 X 射線(xiàn)從材料原子內的原子核周?chē)能壍乐恢星贸鲭娮印?/div>