X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線(xiàn)管）和探測系統構成。X射線(xiàn)管產(chǎn)生入射X射線(xiàn)（一次X射線(xiàn)），激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì )放射出二次X射線(xiàn)，并且不同的元素所放射出的二次X射線(xiàn)具有特定的能量特性或波長(cháng)特性。探測系統測量這些放射出來(lái)的二次X射線(xiàn)的能量及數量。然后，儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類(lèi)及含量。
近年來(lái)，X熒光光譜分析在各行業(yè)應用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛生等各個(gè)領(lǐng)域，特別是在RoHS檢測領(lǐng)域應用得多也廣泛。大多數分析元素均可用其進(jìn)行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小的特點(diǎn)。
X射線(xiàn)熒光的物理原理：當材料暴露在短波長(cháng)X光檢查，或伽馬射線(xiàn)，其組成原子可能發(fā)生電離，如果原子是暴露于輻射與能源大于它的電離勢，足以驅逐內層軌道的電子，然而這使原子的電子結構不穩定，在外軌道的電子會(huì )“回補”進(jìn)入低軌道，以填補留下來(lái)的洞。
在“回補”的過(guò)程會(huì )釋出多余的能源，光子能量是相等兩個(gè)軌道的能量差異的。因此，物質(zhì)放射出的輻射，這是原子的能量特性。
透射測定
光譜儀的透射率或它的效率可用輔助單色儀裝置來(lái)測定。在可見(jiàn)和近紫外實(shí)現這些測量沒(méi)有任何困難。測量通過(guò)第一個(gè)單色儀的光通量，緊接著(zhù)測量通過(guò)兩個(gè)單色儀的光通量，以這種方式來(lái)確定第二個(gè)單色儀的透射率。
絕對測量需要知道單色儀的絕對透射率：對于相對測量，以各種波長(cháng)處的相對單位可以測量透射率。真空紫外線(xiàn)的這些測量有相當大的實(shí)驗困難，因此通常使用輔助單色儀。在各種入射角的情況下分別測量衍射光柵的效率。在許多實(shí)驗步驟中已成功地避免了校準上的困難。
優(yōu)點(diǎn):
a) 分析速度高。測定用時(shí)與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
b) X射線(xiàn)熒光光譜跟樣品的化學(xué)結合狀態(tài)無(wú)關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒(méi)有關(guān)系。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長(cháng)變化等現象。特別是在軟X射線(xiàn)范圍內，這種效應更好。波長(cháng)變化用于化學(xué)位的測定 。
c) 非破壞分析。在測定中不會(huì )引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì )出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。
d) X射線(xiàn)熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。
e) 分析精密度高。
f) 制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。 
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